安徽南环,惠-电子特种气体-滁州特种气体

特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 pocl3 和 o2，减反射层 pecvd 工艺用到 sih4、nh3，特种气体厂，刻蚀工艺用到 cf4；特种气体的储存注意事项：为防止高压容器跌倒、滚落、损坏、阀门泄漏等造成安全---，存放场地需平坦，操作需谨慎、轻柔；并用链条、绳索等将其固定在靠墙等坚固位置。特种气体的重要性：正是因为电子气体在集成电路制造中的使用量大，应用范围广的特点。所以电子气体直接决定了芯片制造的良率 与---性等等。所以电子气体也被誉为集成电路制造中的“---”。

 特种气体在集成电路领域的应用：特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料，电子特种气体，处于半导体产业链的 上游，被称为半导体的“源”，主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体分类：标准气体严格---应称为标准校正气体，是一种高度均匀， 稳定性---和量值准确的气体，可分为单元标准气体和多元标准气体，目前标准气基本 满足了我国石油、化工、、传感器校核等诸多领域的需求，特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 lpcvd 沉积 tco 工序用到 dezn、b2h6；非晶/微晶硅沉积工序用到 sih4、ph3/h2、 tmb/h2、ch4、nf3 等。