





20 世纪 80 年代,电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高,随着气体供应商供气模式的引入,国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司,国内特种气体市 场逐步发展起来。电子特种气体是集成电路、平板显示、发光二极管、太阳能电池等半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料,特种气体生产厂家,被广泛的应用 于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。特种气体分类:从应用领域划分,特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种,广泛应用 于电子半导体、化工、和高装备制造等领域。
特种气体从应用领域来看,主要包括电子气体、标准气体、食品气体、电光源气体等,其中,电子气体广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程,是下游的行业关键性化工基础材料,被誉为电子产业的“---”。特种气体在太阳能电池中的应用:晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 pocl3 和 o2,减反射层 pecvd 工艺用到 sih4、nh3,刻蚀工艺用到 cf4;特种气体分类:高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体,对于不同类别的气体,纯度指标不同,大多用于---规模集成电路及分离器 件、光电子等---领域;
特种气体种类:广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体,是重要原材料之一, 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。特种气体的重要性:在半导体工艺中,从芯片生长到后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离 不开电子特气,因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测等步骤,其中气体的纯化、混配等是气体公司的竞争力。
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